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伺服液壓缸一般由端蓋、缸筒、活塞桿、活塞組件、伺服模塊、傳感組件、底座等主要部分組成；為避免油液向液壓缸外泄或由高壓腔向低壓腔走漏，在缸筒與端蓋、活塞與活塞桿、活塞與缸筒、活塞桿與前端蓋之間均設置有密封設備，在前端蓋外側，還裝有防塵設備；為避免活塞快速退回到行程終端時碰擊后缸蓋，液壓缸端部還設置緩沖設備；有時還需設置排氣設備。伺服液壓缸前后還按需安裝銜接件設備集成度高，采用了伺服模塊和傳感組件，工作在電液伺服系統閉環回路中，可以將液壓能轉化成機械能的同時對工作機構施行高精度、高呼應操控，因此在大型液壓實驗系統較常用的伺服執行設備。

進行伺服液壓缸設計時，應根據工作壓力、運動速度、工作條件，加工工藝、行程、搬運及裝拆檢修等方面的要求，歸納考慮伺服液壓缸的各部分結構。較為常見的是單活塞桿雙作用伺服液壓缸。其典型組成：

底座，耳軸，法蘭型單耳環式活動頭，雙頭拉桿螺母，雙頭拉桿，后缸蓋，活塞環，活，緩沖套，O型圈，止動螺釘，活塞桿，缸筒，前缸蓋，導向套，防塵密封，法蘭蓋，排氣設備，操控設備模塊（進油--回油接頭、電磁閥、伺服閥、流量閥、單向閥、載荷約束閥等），導油管（坐落缸筒外側、操控設備模塊和后端蓋之間，由轉化接頭和鎖緊螺母實現銜接），位移線接口（坐落后缸蓋側，僅存于具有位移操控功用的液壓缸），泄油口，傳感器組件（傳感器、螺旋墊、聯接桿、墊片、耳片）